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簡(jiǎn)要描述：博達(dá)微FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測(cè)試、電容電壓 (CV) 測(cè)試、脈沖式 IV 測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-01-29訪 問(wèn) 量：1787產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
|---|
博達(dá)微FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測(cè)試、電容電壓 (CV) 測(cè)試、脈沖式 IV 測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測(cè)試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程，并可與概倫 9812 系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成，其快速 DC 測(cè)試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測(cè)試效率。
FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng)， 還支持多通道并行測(cè)試，可進(jìn)一步提升測(cè)試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測(cè)試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的測(cè)試功能，可實(shí)現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗(yàn)。
FS-Pro 可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED 材料、二維材料器 件、金屬材料、新型*材料與器件測(cè)試等。
基于在產(chǎn)線測(cè)試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro 不僅被眾 多芯片設(shè)計(jì)公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測(cè)試能力更在科研學(xué)術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認(rèn)可，目前已被數(shù)十所國(guó)內(nèi)外高校及科學(xué)研究機(jī)構(gòu)所選用。
博達(dá)微FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)應(yīng)用范圍：
被半導(dǎo)體工業(yè)界和眾多大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)釆用作為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試儀器
集成功能：
高速高精度 IV/CV測(cè)試能力
脈沖式 IV測(cè)試能力
任意線性波形發(fā)生與測(cè)量能力
高速時(shí)域信號(hào)釆集能力
與 9812 對(duì)準(zhǔn)的低頻噪聲測(cè)試能力
使用方式：
通過(guò)內(nèi)置專業(yè)軟件 LabExpress 的豐富功能實(shí)現(xiàn)測(cè)試
操作簡(jiǎn)單靈活，無(wú)需編程即可實(shí)現(xiàn)自由的波形發(fā)生或電壓同步與跟隨
系統(tǒng)架構(gòu)：
PXI標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，可擴(kuò)展架構(gòu),支持通過(guò)多機(jī)箱擴(kuò)展SMU卡數(shù)量
支持并行測(cè)試：
內(nèi)置功能強(qiáng)大的測(cè)試算法
支持多通道并行測(cè)試
成倍提升測(cè)試效率
硬件規(guī)格寬量程：200V 電壓，1A 直流電流
高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度
噪聲測(cè)試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz
噪聲測(cè)試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）
內(nèi)置脈沖測(cè)試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬
內(nèi)置 CV測(cè)試：200V/10kHz，低可測(cè)至 20fF
外置 CV 測(cè)試模塊：40V/2MHz（高精度型）
40V/10MHz（高帶寬型）
高速時(shí)域信號(hào)采集：最小采樣時(shí)間 < 1us，10 萬(wàn)點(diǎn)數(shù)據(jù)
噪聲測(cè)試最小阻抗：500Ω
噪聲測(cè)試分辨能力：低 2e-28A2/Hz
噪聲測(cè)試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz
高精度快速波形發(fā)生與測(cè)量套件 ：2 通道，SMA 接口
快速 IV 測(cè)試：±10V 電壓，最大 10mA 電流
SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流
100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns
軟件功能FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測(cè)量軟件具有強(qiáng)大的測(cè)試和分析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè)定，具有下列主要功能：
完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測(cè)試、任意波形發(fā)生與測(cè)量功能
支持長(zhǎng)程 Stress 測(cè)試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp， J-Ramp）可靠性測(cè)試
內(nèi)置的常見(jiàn)器件測(cè)試預(yù)設(shè)可大大提高測(cè)試設(shè)置效率，幫助新手操作者快速完成測(cè)試
強(qiáng)大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號(hào)
內(nèi)置強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理能力可測(cè)試后直接展幵器件特性分析多種數(shù)據(jù)保存方式，導(dǎo)出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直接導(dǎo)入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進(jìn)行模型提取 和特性分析
LabExpress 專業(yè)版支持對(duì)主流探針臺(tái)和矩陣幵關(guān)設(shè)備的控制，支持晶圓映射、并行測(cè)試實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試功能，進(jìn)—步提升測(cè)試效率
產(chǎn)品應(yīng)用新型材料與器件測(cè)試
半導(dǎo)體器件可靠性測(cè)試
半導(dǎo)體器件超短脈沖測(cè)試
半導(dǎo)體器件無(wú)損探傷與測(cè)試
光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試
半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測(cè)試
應(yīng)用實(shí)例
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