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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,石油,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件 |
布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡
基于生產的深度計量
布魯克的InSight CAP自動原子力輪廓儀專門設計用于半導體制造商和供應商的CMP和蝕刻計量的組合平臺。InSight CAP系統具有300毫米自動處理功能和久經考驗的GEM工廠自動化軟件。
InSight CAP提供
布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡計量
在*技術節點上，利用多圖案光刻技術對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞一代的AFM掃描儀構建，可在65μmX / Y掃描范圍內提供小于10納米的改進平面度。該系統的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的調諧速度，以提高生產率，同時還具有增強的可靠性。其DT自適應掃描模式還有助于加快掃描速度并改善計量。憑借其*功能的結合，InSight CAP高分辨率輪廓儀可實現埃級精度，以測量宏觀凹陷和腐蝕。
價值平臺
靈活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圓尺寸，從而可以針對各種終應用進行精確測量。從高效的實驗室到全自動的晶圓廠，InSight CAP Profiler可以針對經濟高效的計量解決方案進行配置。
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